Metal silikon tozu yapmak oldukça basittir. Sadece belirli bir miktarda kaba silikon tozu, inert bir gazla bir plazma arkına yerleştirir ve yüksek bir sıcaklığa kadar ısıtarak silikon tozunun silikon buharına dönüşmesine neden olur. Bu buhar daha sonra soğutulur ve nano seviyesi metalik silikon tozuna dönüştürülür.
Kimyasal buhar biriktirme yöntemi: Çok fazla hidrojen ve ışık veya ışık kullanıldığında silan silikon ve hidrojene ayrılır. Hızlı bir şekilde nanosilikon tozunun elde edildiği bir gaza dönüşür.
Top Taşlama Yöntemi: Daha büyük silikon malzemeler, sürtünme ve parçacıklar arasında çarpışmalar kullanan bir makine kullanılarak nano boyutlu tozlara öğütülür. Bilyalı taşlama silikon metal tozu yüksek bir safsızlık içeriğine sahiptir, parçacık boyutu dağılımı iyi kontrol edilemez ve sonraki işlem nispeten hantaldır.