Silikon nitrür sentezi ilk olarak 1857'de Henri Edouard Saint-Clair Deville ve Friedrich Wöhler tarafından bildirildi. Sentezlerinde, karbonla dolu bir potaya silikonlu bir pota yerleştirildi ve oksijen penetrasyonunu azaltmak için ısıtıldı. Silikon nitrür dedikleri bir ürün bildirdiler, ancak kimyasal bileşimini belirleyemediler.
1879'da Paul Schützenberger, bir astar malzemesi (kömür, kömür briketleri veya kokun kil ile karıştırılmasıyla elde edilen hevesli bir astar olarak kullanılabilen bir macun) ile karıştırılmış silikonun ısıtılmasıyla ürünü elde etti ve Si3n4 ile bir bileşik olarak bildirdi. 1910'da Ludwig Weiss ve Theodor Engelhardt, saf azotta elemental silikonu ısıtarak SI3N4 üretti. 1925'te Friedrich ve Sittig, bir azot atmosferinde silikon dioksit ve karbonun, karbonun termal azaltılması kullanılarak 1250-1300 derecesine kadar silikon dioksit ve karbonu ısıtarak sentezledi.